TOULOUSE / FRANÇA - INSTITUTO NACIONAL DE CIÊNCIAS APLICADAS

Este projeto na área da microeletrônica, fundamentalmente, baseia-se nos conceitos e processos para implementação de  “chips “ contendo  transistores de canais  NMOS , com portas de polissilício por auto-alinhamento, cuja realização só é possível graças à parceria através do intercâmbio entre a Universidade Santa Cecília – UNISANTA  e o AIME (Atelier Interuniversitaire de MicroElectronique), pertinente ao INSA (Institut National des Scienses Appliquées) da Universidade de Toulouse – França.      

Devido à alta tecnologia necessária à realização de um “CI “ e conseqüentemente os altos investimentos financeiros alocados na aquisição de equipamentos extremamente sofisticados, como microscópios eletrônicos, fornos de altas temperaturas, câmaras  de vácuo, computadores de médio porte, microprocessadores, sala de fotolitografia, sala limpa de alta assepsia e superpressionada, reator LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition ), equipamentos para testes químicos e eletrônicos em nível molecular, etc, o intercâmbio entre a UNISANTA e o AIME tem como objetivo principal permitir que os alunos do curso de graduação  de Engenharia Eletrônica, de Telemática e de Computação possam ter acesso a uma tecnologia de ponta que no Brasil, dificilmente poderiam encontrar em cursos em nível de graduação.   

Cabe ao professor DJALMIR CORRÊA MENDES, devidamente autorizado pela direção das Faculdades de Engenharia Eletrônica, de Telemática e de Computação da UNISANTA, coordenar o projeto. 

Contatos preliminares e permanentes com o AIME através de seu diretor Gérard Rey, pesquisa e desenvolvimentos dos projetos, seleção e organização das turmas para os estágios, assistência e orientação aos alunos na França, busca de ajuda financeira para realização do intercâmbio, etc, são entre outras, algumas das metas a serem alcançadas pela coordenação do convênio. 

As turmas para o intercâmbio são compostas pelo coordenador, dois professores e doze alunos. Normalmente, o AIME reserva uma semana no início dos meses de julho para atender o grupo da UNISANTA .  

    Da Universidade de Toulouse e do INSA recebe-se apoio quanto ao alojamento para todos os dias do estágio, acesso ao campus e restaurante universitário, material para fabricação dos “chips“ , material didático em apostilas, uso da “ Sale Blanche “ (Sala Limpa ) e seus equipamentos, inclusive os de segurança individual. Além de todo este apoio, há um sólido e amigável acompanhamento dos professores e técnicos franceses, chefiados pelo Prof. Dr. Jean Louis Noullet, proporcionando aos alunos brasileiros um rendimento realmente relevante.    

O "AIME" , apesar de seguir os princípios básicos na fabricação de um chip de tecnologia MOS, mantém variantes próprias no processo , tendo em vista torná-lo mais didático possível, de simples assimilação e de alta confiabilidade. Assim sendo, para o "Atelier" o que mais importa é que fiquem claros os caminhos ou etapas a serem alcançadas na elaboração do produto final. 

Por exemplo, para a implementação do elemento ativo fundamental de um "CI", o transistor NMOS com  "porta" auto-alinhada, as etapas podem ser definidas como:  

       01 - Análise e caracterização do substrato tipo P
       02 - Oxidação de Mascaramento
       03 - Fotogravura 1: Abertura da difusão
       04 - Limpeza  R.C.A.
       05 - Oxidação seca para a realização da Porta
       06 - Depósito de Polisilício dopado tipo N por LPCVD
       07 - Fotogravura 2: Abertura no Polisilício por plasma
                                   Abertura química do SiO2 da Porta
       08 - Difusão de Fósforo na Fonte e no Dreno : Pré-deposição e Redistribuição
       09 - Depósito de SiO2 à baixa temperatura por LPCVD
       10 - Fotogravura 3: Abertura dos contatos
       11 - Metalização
       12 - Fotogravura 4: Gravação do Metal
       13 - Recozimento do Metal
       14 - Montagem / encapsulamento e teste com micropontas
       15 - Teste elétrico e eletrônico

             

Conclusões

     As etapas, acima registradas, envolvem vários procedimentos específicos, os quais podem ser consolidados de forma a evidenciar as principais fases do processo como um todo.

          Prof. Responsável: Djalmir Correa Mendes
          E-mail: mendes@unisanta.br

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